ԷԼԵԿՏՐՈՆԱԿԱՆ ՄԱՔՈՒՐ ՍԵՆՅԱԿԻ ԴԻԶԱՅՆԻ ՊԱՀԱՆՋ

Բացի մասնիկների խիստ հսկողությունից, էլեկտրոնային մաքուր սենյակը, որը ներկայացված է չիպերի արտադրության սեմինարներով, ինտեգրալ սխեմաների փոշուց զերծ սեմինարներով և սկավառակների արտադրությամբ զբաղվող արտադրամասերում, ունեն նաև ջերմաստիճանի և խոնավության վերահսկման, լուսավորության և միկրո ցնցումների ավելի խիստ պահանջներ: Խստորեն վերացրեք ստատիկ էլեկտրաէներգիայի ազդեցությունը արտադրական արտադրանքի վրա, որպեսզի շրջակա միջավայրը կարողանա բավարարել էլեկտրոնային արտադրանքի արտադրության գործընթացի պահանջները մաքուր միջավայրում:

Էլեկտրոնային մաքուր սենյակի ջերմաստիճանը և խոնավությունը պետք է որոշվի արտադրության գործընթացի պահանջներին համապատասխան: Երբ արտադրության գործընթացին հատուկ պահանջներ չկան, ջերմաստիճանը կարող է լինել 20-26°C, իսկ հարաբերական խոնավությունը՝ 30%-70%: Անձնակազմի մաքուր սենյակի և հյուրասենյակի ջերմաստիճանը կարող է լինել 16-28℃: Համաձայն չինական GB-50073 ազգային ստանդարտի, որը համապատասխանում է միջազգային ISO ստանդարտներին, այս տեսակի մաքուր սենյակների մաքրության մակարդակը 1-9 է: Նրանց թվում, 1-5 դասի, օդի հոսքի օրինաչափությունը միակողմանի հոսք է կամ խառը հոսք; 6-րդ դասի օդի հոսքի օրինաչափությունը ոչ միակողմանի հոսք է, և օդի փոփոխությունը 50-60 անգամ/ժ է; 7-րդ դասի օդի հոսքի տեսակը ոչ միակողմանի հոսք է, և օդի փոփոխությունը 15-25 անգամ/ժ է; 8-9 դասի օդի հոսքի տեսակը ոչ միակողմանի հոսք է, օդի փոփոխությունը 10-15 անգամ/ժ է:

Ընթացիկ բնութագրերի համաձայն՝ 10,000 դասի էլեկտրոնային մաքուր սենյակում աղմուկի մակարդակը չպետք է լինի 65 դԲ(Ա)-ից ավելի:

1. Էլեկտրոնային մաքուր սենյակում ուղղահայաց հոսքի մաքուր սենյակի ամբողջական հարաբերակցությունը չպետք է պակաս լինի 60%-ից, իսկ հորիզոնական միակողմանի հոսքի մաքուր սենյակը չպետք է լինի 40%-ից պակաս, հակառակ դեպքում դա կլինի մասնակի միակողմանի հոսք:

2. Էլեկտրոնային մաքուր սենյակի և դրսի միջև ստատիկ ճնշման տարբերությունը չպետք է լինի 10Pa-ից պակաս, իսկ մաքուր և ոչ մաքուր տարածքների միջև ստատիկ ճնշման տարբերությունը օդի տարբեր մաքրությամբ չպետք է լինի 5Pa-ից պակաս:

3. 10000 դասի էլեկտրոնային մաքուր սենյակում մաքուր օդի քանակը պետք է ընդունի հետևյալ երկու կետերի արժեքը.

4. Փոխհատուցեք ներսի արտանետվող օդի ծավալի և մաքուր օդի ծավալի գումարը, որն անհրաժեշտ է ներսում դրական ճնշման արժեքը պահպանելու համար:

5. Ապահովել, որ մաքուր սենյակ մատակարարվող մաքուր օդի քանակը ժամում մեկ անձի համար լինի 40 քմ-ից ոչ պակաս: