Որո՞նք են մաքուր սենյակում օդային հոսքի կազմակերպման վրա ազդող գործոնները։

Ինտեգրալ սխեմաների արտադրության ոլորտում չիպի արտադրողականության մակարդակը սերտորեն կապված է չիպի վրա նստեցված օդային մասնիկների չափի և քանակի հետ: Լավ օդափոխության կազմակերպումը կարող է փոշու աղբյուրից առաջացած մասնիկները հեռացնել մաքուր սենյակից՝ ապահովելով մաքուր սենյակի մաքրությունը, այսինքն՝ մաքուր սենյակում օդափոխության կազմակերպումը կարևոր դեր է խաղում ինտեգրալ սխեմաների արտադրության արտադրողականության մակարդակում: Մաքուր սենյակում օդափոխության կազմակերպման նախագծումը պետք է հասնի հետևյալ նպատակներին՝ նվազեցնել կամ վերացնել հոսքի դաշտում պտտահողմը՝ վնասակար մասնիկների պահպանումը կանխելու համար, պահպանել համապատասխան դրական ճնշման գրադիենտ՝ խաչաձև աղտոտումը կանխելու համար:

Օդի հոսքի ուժ

Մաքուր սենյակի սկզբունքի համաձայն՝ մասնիկների վրա ազդող ուժերն են՝ զանգվածի ուժը, մոլեկուլային ուժը, մասնիկների միջև ձգողականության ուժը, օդի հոսքի ուժը և այլն։

Օդի հոսքի ուժ. վերաբերում է օդի հոսքի ուժին, որն առաջանում է մատակարարման, հետադարձ օդի հոսքի, ջերմային կոնվեկցիոն օդի հոսքի, արհեստական ​​խառնման և մասնիկները տեղափոխելու համար որոշակի հոսքի արագություն ունեցող այլ օդային հոսքերի կողմից։ Մաքուր սենյակի միջավայրի տեխնիկական վերահսկողության համար օդի հոսքի ուժը ամենակարևոր գործոնն է։

Փորձերը ցույց են տվել, որ օդային հոսքի շարժման ժամանակ մասնիկները հետևում են օդային հոսքի շարժմանը գրեթե նույն արագությամբ: Օդում մասնիկների վիճակը որոշվում է օդային հոսքի բաշխմամբ: Ներքին մասնիկներին ազդող օդային հոսքերը հիմնականում ներառում են՝ օդի մատակարարման օդային հոսքը (ներառյալ առաջնային և երկրորդային օդային հոսքը), մարդկանց քայլելու հետևանքով առաջացած օդային և ջերմային կոնվեկցիոն օդային հոսքը, ինչպես նաև գործընթացի և արդյունաբերական սարքավորումների հետևանքով առաջացած օդային հոսքը: Մաքուր սենյակներում օդի մատակարարման տարբեր մեթոդները, արագության միջերեսները, օպերատորները և արդյունաբերական սարքավորումները, ինչպես նաև մաքուր սենյակներում առաջացած երևույթները՝ բոլորը մաքրության մակարդակի վրա ազդող գործոններ են:

Օդի հոսքի կազմակերպման վրա ազդող գործոններ

1. Օդի մատակարարման մեթոդի ազդեցությունը

(1). Օդի մատակարարման արագությունը

Միատարր օդային հոսք ապահովելու համար միակողմանի մաքուր սենյակում օդի մատակարարման արագությունը պետք է լինի միատարր, օդի մատակարարման մակերեսի մեռյալ գոտին պետք է լինի փոքր, և ULPA-ում ճնշման անկումը նույնպես պետք է լինի միատարր։

Միատարր օդի մատակարարման արագություն, այսինքն՝ օդի հոսքի անհավասարությունը կարգավորվում է ±20%-ի սահմաններում։

Օդի մատակարարման մակերեսի վրա մեռյալ գոտու պակաս. ոչ միայն պետք է կրճատվի ULPA շրջանակի հարթ մակերեսը, այլև ավելի կարևոր է, որ պետք է ընդունվի մոդուլային FFU՝ ավելորդ շրջանակը պարզեցնելու համար։

Ուղղահայաց միակողմանի օդային հոսքն ապահովելու համար ֆիլտրի ճնշման անկման ընտրությունը նույնպես շատ կարևոր է, ինչը պահանջում է, որ ֆիլտրում ճնշման կորուստը չշեղվի։

(2). FFU համակարգի և առանցքային հոսքի օդափոխիչի համակարգի համեմատություն

FFU-ն օդի մատակարարման բլոկ է՝ օդափոխիչով և ֆիլտրով (ULPA): FFU-ի կենտրոնախույս օդափոխիչի կողմից օդը ներծծելուց հետո դինամիկ ճնշումը օդային խողովակում վերածվում է ստատիկ ճնշման և ULPA-ի կողմից հավասարաչափ դուրս է մղվում: Առաստաղի վրա օդի մատակարարման ճնշումը բացասական է, այնպես որ ֆիլտրը փոխարինելիս մաքուր սենյակ փոշի չի ներթափանցի: Փորձերը ցույց են տվել, որ FFU համակարգը գերազանցում է առանցքային հոսքի օդափոխիչի համակարգին օդի ելքի միատարրության, օդի հոսքի զուգահեռության և օդափոխության արդյունավետության ինդեքսի առումով: Դա պայմանավորված է նրանով, որ FFU համակարգի օդի հոսքի զուգահեռությունն ավելի լավն է: FFU համակարգի օգտագործումը կարող է մաքուր սենյակում օդի հոսքն ավելի կազմակերպված դարձնել:

(3). FFU-ի սեփական կառուցվածքի ազդեցությունը

FFU-ն հիմնականում կազմված է օդափոխիչներից, ֆիլտրերից, օդային հոսքի ուղղորդող սարքերից և այլ բաղադրիչներից: ULPA գերբարձր արդյունավետության ֆիլտրը ամենակարևոր երաշխիքն է այն բանի, թե արդյոք մաքուր սենյակը կարող է հասնել նախագծի պահանջվող մաքրությանը: Ֆիլտրի նյութը նույնպես ազդում է հոսքի դաշտի միատարրության վրա: Երբ ֆիլտրի ելքին ավելացվում է կոպիտ ֆիլտրի նյութ կամ շերտավոր հոսքի թիթեղ, ելքի հոսքի դաշտը հեշտությամբ կարելի է միատարր դարձնել:

2. Մաքրության տարբեր արագության ինտերֆեյսների ազդեցությունը

Նույն մաքուր սենյակում՝ ուղղահայաց միակողմանի հոսքի աշխատանքային և ոչ աշխատանքային տարածքների միջև, ULPA ելքի մոտ օդի արագության տարբերության պատճառով, միջերեսում կառաջանա խառը մրրկային էֆեկտ, և այս միջերեսը կդառնա տուրբուլենտ օդային հոսքի գոտի՝ օդային տուրբուլենտության հատկապես բարձր ինտենսիվությամբ։ Մասնիկները կարող են փոխանցվել սարքավորումների մակերեսին և աղտոտել սարքավորումները և թիթեղները։

3. Անձնակազմի և սարքավորումների ազդեցությունը

Երբ մաքուր սենյակը դատարկ է, սենյակում օդի հոսքի բնութագրերը, որպես կանոն, համապատասխանում են նախագծման պահանջներին: Երբ սարքավորումները մտնում են մաքուր սենյակ, անձնակազմը շարժվում է, և արտադրանքը փոխանցվում է, անխուսափելիորեն խոչընդոտներ են առաջանում օդի հոսքի կազմակերպման համար: Օրինակ՝ սարքավորումների դուրս ցցված անկյուններում կամ եզրերում գազը կշեղվի՝ առաջացնելով տուրբուլենտ գոտի, և գոտում գտնվող հեղուկը հեշտությամբ չի տարվում գազի կողմից, ինչը աղտոտում է առաջացնում: Միևնույն ժամանակ, սարքավորումների մակերեսը կտաքանա շարունակական աշխատանքի պատճառով, և ջերմաստիճանի գրադիենտը կառաջացնի վերահոսման գոտի մեքենայի մոտ, ինչը կմեծացնի մասնիկների կուտակումը վերահոսման գոտում: Միևնույն ժամանակ, բարձր ջերմաստիճանը հեշտությամբ կհանգեցնի մասնիկների արտահոսքին: Կրկնակի ազդեցությունը սրում է ընդհանուր ուղղահայաց շերտավոր մաքրության վերահսկման դժվարությունը: Մաքուր սենյակում գտնվող օպերատորներից փոշին շատ հեշտությամբ կպչում է այդ վերահոսման գոտիների վաֆլիներին:

4. Վերադարձվող օդի հատակի ազդեցությունը

Երբ հատակով անցնող վերադարձի օդի դիմադրությունը տարբեր է, կառաջանա ճնշման տարբերություն, որի պատճառով օդը կհոսի ավելի փոքր դիմադրության ուղղությամբ, և միատարր օդային հոսք չի ստացվի: Ներկայիս տարածված նախագծման մեթոդը բարձրացված հատակների օգտագործումն է: Երբ բարձրացված հատակների բացման արագությունը 10% է, սենյակի աշխատանքային բարձրության վրա օդային հոսքի արագությունը կարող է հավասարաչափ բաշխվել: Բացի այդ, պետք է խիստ ուշադրություն դարձնել մաքրման աշխատանքներին` հատակի աղտոտման աղբյուրը նվազեցնելու համար:

5. Ինդուկցիայի երևույթ

Այսպես կոչված ինդուկցիոն երևույթը վերաբերում է այն երևույթին, երբ առաջանում է միատարր հոսքի հակառակ ուղղությամբ օդային հոսք, և սենյակում կամ հարակից աղտոտված տարածքում առաջացած փոշին մղվում է քամու դեմ, որպեսզի փոշին կարողանա աղտոտել չիպը։ Հետևյալը հնարավոր ինդուկցիոն երևույթներն են՝

(1). Կույր թիթեղ

Մաքուր սենյակում՝ ուղղահայաց միակողմանի հոսքով, պատի վրա միացումների պատճառով, սովորաբար կան մեծ կույր թիթեղներ, որոնք առաջացնում են տուրբուլենտություն տեղական հետադարձ հոսքում։

(2). Լամպեր

Մաքուր սենյակում լուսավորության սարքերը ավելի մեծ ազդեցություն կունենան: Քանի որ լյումինեսցենտային լամպերի ջերմությունը առաջացնում է օդի հոսքի բարձրացում, լյումինեսցենտային լամպերի տակ տուրբուլենտ տարածք չի լինի: Սովորաբար, մաքուր սենյակում լամպերը նախագծված են արցունքի կաթիլի տեսքով՝ լամպերի ազդեցությունը օդի հոսքի կազմակերպման վրա նվազեցնելու համար:

(3.) Պատերի միջև եղած ճեղքերը

Երբ տարբեր մաքրության մակարդակ ունեցող միջնապատերի կամ միջնապատերի և առաստաղների միջև կան ճեղքեր, մաքրության ցածր պահանջներ ունեցող տարածքից փոշին կարող է փոխանցվել մաքրության բարձր պահանջներ ունեցող հարակից տարածք։

(4). Մեքենայի և հատակի կամ պատի միջև հեռավորությունը

Եթե ​​մեքենայի և հատակի կամ պատի միջև եղած բացը շատ փոքր է, դա կառաջացնի հետադարձ տուրբուլենտություն: Հետևաբար, թողեք բացատ սարքավորումների և պատի միջև և բարձրացրեք մեքենան, որպեսզի այն չդիպչի գետնին: