Որո՞նք են մաքուր սենյակում օդի հոսքի կազմակերպման վրա ազդող գործոնները։

Չիպերի արտադրության ոլորտում չիպերի արտադրողականությունը սերտորեն կապված է չիպի վրա նստեցված օդային մասնիկների չափի և քանակի հետ: Լավ օդային հոսքի կազմակերպումը կարող է մաքր սենյակից հեռացնել փոշու աղբյուրներից առաջացած մասնիկները և ապահովել մաքուր սենյակի մաքրությունը: Այսինքն՝ մաքուր սենյակում օդային հոսքի կազմակերպումը կենսական դեր է խաղում չիպերի արտադրության արտադրողականության մեջ: Մաքուր սենյակի օդային հոսքի կազմակերպման նախագծման նպատակներն են՝ նվազեցնել կամ վերացնել հոսքի դաշտում առաջացող պտույտ հոսանքները՝ վնասակար մասնիկների պահպանումը կանխելու համար, պահպանել համապատասխան դրական ճնշման գրադիենտ՝ խաչաձև աղտոտումը կանխելու համար:

Մաքուր սենյակի սկզբունքի համաձայն՝ մասնիկների վրա ազդող ուժերն են՝ զանգվածի ուժը, մոլեկուլային ուժը, մասնիկների միջև ձգողականության ուժը, օդի հոսքի ուժը և այլն։

Օդի հոսքի ուժ. վերաբերում է մատակարարման և վերադարձի օդի, ջերմային կոնվեկցիոն օդի, արհեստական ​​​​խառնաշփոթի և մասնիկներ տեղափոխելու որոշակի հոսքի արագությամբ այլ օդային հոսքերի կողմից առաջացած օդի հոսքի ուժին: Մաքուր սենյակի շրջակա միջավայրի տեխնոլոգիական կառավարման համար օդի հոսքի ուժը ամենակարևոր գործոնն է:

Փորձերը ցույց են տվել, որ օդային հոսքի շարժման ժամանակ մասնիկները հետևում են օդային հոսքին գրեթե նույն արագությամբ: Օդում մասնիկների վիճակը որոշվում է օդային հոսքի բաշխմամբ: Օդային հոսքի հիմնական ազդեցությունը ներսի մասնիկների վրա ներառում է. մատակարարման օդային հոսքը (ներառյալ առաջնային և երկրորդային օդային հոսքը), մարդկանց քայլելու հետևանքով առաջացած օդային և ջերմային կոնվեկցիոն օդային հոսքը, ինչպես նաև գործընթացային գործողությունների և արդյունաբերական սարքավորումների հետևանքով առաջացած օդային հոսքի ազդեցությունը մասնիկների վրա: Մաքուր սենյակներում օդային մատակարարման տարբեր մեթոդները, արագության միջերեսները, օպերատորները և արդյունաբերական սարքավորումները, ինդուկցված երևույթները և այլն՝ այս բոլորը գործոններ են, որոնք ազդում են մաքրության մակարդակի վրա:

1. Օդի մատակարարման մեթոդի ազդեցությունը

(1) Օդի մատակարարման արագությունը

Միատարր օդի հոսք ապահովելու համար միակողմանի հոսքով մաքուր սենյակում օդի մատակարարման արագությունը պետք է լինի միատարր, օդի մատակարարման մակերեսի վրա գտնվող մեռյալ գոտին պետք է լինի փոքր, և HEPA ֆիլտրի ներսում ճնշման անկումը նույնպես պետք է լինի միատարր։

Օդի մատակարարման արագությունը միատարր է, այսինքն՝ օդի հոսքի անհավասարությունը վերահսկվում է ±20%-ի սահմաններում։

Օդի մատակարարման մակերեսին ավելի քիչ մեռյալ տարածություն կա. ոչ միայն պետք է կրճատվի hepa շրջանակի հարթ մակերեսը, այլև ավելի կարևոր է, որ մոդուլային FFU-ն պետք է օգտագործվի ավելորդ շրջանակը պարզեցնելու համար։

Օդի հոսքը ուղղահայաց և միակողմանիորեն ապահովելու համար ֆիլտրի ճնշման անկման ընտրությունը նույնպես շատ կարևոր է, և պահանջվում է, որ ֆիլտրի ներսում ճնշման կորուստը չշեղվի։

(2) FFU համակարգի և առանցքային հոսքի օդափոխիչի համակարգի համեմատություն

FFU-ն օդի մատակարարման սարք է՝ օդափոխիչով և HEPA ֆիլտրով: Օդը ներծծվում է FFU-ի կենտրոնախույս օդափոխիչի կողմից և դինամիկ ճնշումը փոխակերպում է ստատիկ ճնշման օդային խողովակում: Այն հավասարաչափ դուրս է մղվում HEPA ֆիլտրի կողմից: Առաստաղի վրա օդի մատակարարման ճնշումը բացասական ճնշում է: Այսպիսով, ֆիլտրը փոխարինելիս մաքուր սենյակ փոշի չի ներթափանցի: Փորձերը ցույց են տվել, որ FFU համակարգը գերազանցում է առանցքային հոսքի օդափոխիչի համակարգին օդի ելքի միատարրության, օդի հոսքի զուգահեռության և օդափոխության արդյունավետության ինդեքսի առումով: Դա պայմանավորված է նրանով, որ FFU համակարգի օդի հոսքի զուգահեռությունն ավելի լավն է: FFU համակարգի օգտագործումը կարող է բարելավել օդի հոսքի կազմակերպումը մաքուր սենյակում:

(3) FFU-ի սեփական կառուցվածքի ազդեցությունը

FFU-ն հիմնականում կազմված է օդափոխիչներից, ֆիլտրերից, օդային հոսքի ուղղորդիչներից և այլ բաղադրիչներից: HEPA ֆիլտրը մաքուր սենյակի ամենակարևոր երաշխիքն է՝ նախագծով պահանջվող մաքրությունն ապահովելու համար: Ֆիլտրի նյութը նույնպես ազդում է հոսքի դաշտի միատարրության վրա: Երբ ֆիլտրի ելքին ավելացվում է կոպիտ ֆիլտրի նյութ կամ հոսքի թիթեղ, ելքի հոսքի դաշտը հեշտությամբ կարելի է միատարր դարձնել:

2. Արագության ինտերֆեյսի ազդեցությունը տարբեր մաքրության հետ

Նույն մաքուր սենյակում՝ աշխատանքային և ոչ աշխատանքային տարածքների միջև՝ ուղղահայաց միակողմանի հոսքով, hepa տուփի մոտ օդի արագության տարբերության պատճառով, միջերեսում կառաջանա խառը մրրկային էֆեկտ, և այս միջերեսը կդառնա տուրբուլենտ օդային հոսքի գոտի։ Օդային տուրբուլենտության ինտենսիվությունը հատկապես ուժեղ է, և մասնիկները կարող են փոխանցվել սարքավորումների մեքենայի մակերեսին և աղտոտել սարքավորումները և թիթեղները։

3. Ազդեցությունը անձնակազմի և սարքավորումների վրա

Երբ մաքուր սենյակը դատարկ է, սենյակում օդի հոսքի բնութագրերը, որպես կանոն, համապատասխանում են նախագծային պահանջներին: Երբ սարքավորումները մտնում են մաքուր սենյակ, մարդիկ շարժվում են, և ապրանքները տեղափոխվում են, անխուսափելիորեն առաջանում են օդի հոսքի կազմակերպման խոչընդոտներ, ինչպիսիք են սարքավորումների մեքենայից դուրս ցցված սուր ծայրերը: Անկյուններում կամ եզրերում գազը կշեղվի՝ առաջացնելով տուրբուլենտ հոսքի տարածք, և տարածքում գտնվող հեղուկը հեշտությամբ չի տարվի մտնող գազի կողմից, այդպիսով առաջացնելով աղտոտում:

Միաժամանակ, մեխանիկական սարքավորումների մակերեսը կտաքանա շարունակական աշխատանքի պատճառով, և ջերմաստիճանի գրադիենտը կհանգեցնի մեքենայի մոտ վերահոսման տարածքի առաջացմանը, ինչը մեծացնում է մասնիկների կուտակումը վերահոսման տարածքում: Միաժամանակ, բարձր ջերմաստիճանը հեշտությամբ կհանգեցնի մասնիկների արտահոսքին: Կրկնակի ազդեցությունը սրում է ընդհանուր ուղղահայաց շերտը: Հոսքի մաքրությունը վերահսկելու դժվարությունը: Մաքուր սենյակում օպերատորներից փոշին կարող է հեշտությամբ կպչել վաֆլիներին այդ վերահոսման տարածքներում:

4. Վերադարձվող օդի հատակի ազդեցությունը

Երբ հատակով անցնող վերադարձի օդի դիմադրությունը տարբեր է, ճնշման տարբերություն կառաջանա, որի պատճառով օդը կհոսի փոքր դիմադրության ուղղությամբ, և միատարր օդի հոսք չի ստացվի: Ներկայիս տարածված նախագծման մեթոդը բարձրացված հատակի օգտագործումն է: Երբ բարձրացված հատակի բացման հարաբերակցությունը 10% է, օդի հոսքի արագությունը կարող է հավասարաչափ բաշխվել ներքին աշխատանքային բարձրության վրա: Բացի այդ, պետք է խիստ ուշադրություն դարձնել մաքրման աշխատանքներին` հատակի վրա աղտոտման աղբյուրը նվազեցնելու համար:

5. Ինդուկցիայի երևույթ

Այսպես կոչված ինդուկցիոն երևույթը վերաբերում է միատարր հոսքի հակառակ ուղղությամբ օդային հոսքի առաջացման երևույթին, որը առաջացնում է սենյակում փոշի կամ քամու դեմ ուղղված կողմում հարակից աղտոտված տարածքներում փոշի, որի արդյունքում փոշին աղտոտում է թիթեղը։ Հնարավոր առաջացած երևույթներից են հետևյալը.

(1) Կույր թիթեղ

Մաքուր սենյակում՝ ուղղահայաց միակողմանի հոսքով, պատի վրա միացումների պատճառով, սովորաբար կան մեծ կույր վահանակներ, որոնք կառաջացնեն տուրբուլենտ հոսք և տեղային հետհոսք։

(2) Լամպեր

Մաքուր սենյակում լուսավորության սարքերը ավելի մեծ ազդեցություն կունենան: Քանի որ լյումինեսցենտային լամպի ջերմությունը առաջացնում է օդի հոսքի բարձրացում, լյումինեսցենտային լամպը չի դառնա տուրբուլենտ տարածք: Սովորաբար, մաքուր սենյակում լամպերը նախագծված են արցունքի կաթիլի տեսքով՝ լամպերի ազդեցությունը օդի հոսքի կազմակերպման վրա նվազեցնելու համար:

(3) Պատերի միջև եղած ճեղքերը

Երբ միջնապատերի կամ առաստաղների միջև կան ճեղքեր՝ մաքրության տարբեր պահանջներով, ցածր մաքրության պահանջներ ունեցող տարածքներից փոշին կարող է փոխանցվել հարակից տարածքներ՝ մաքրության բարձր պահանջներ ունեցող տարածքներ։

(4) Մեխանիկական սարքավորումների և հատակի կամ պատի միջև հեռավորությունը

Եթե ​​մեխանիկական սարքավորումների և հատակի կամ պատի միջև եղած բացը փոքր է, կառաջանա հետադարձ տուրբուլենտություն: Հետևաբար, սարքավորումների և պատի միջև թողեք բացատ և բարձրացրեք մեքենայի հարթակը՝ գետնի հետ անմիջական շփումից խուսափելու համար: