Չիպերի արտադրությունը սերտորեն կապված է չիպի վրա դրված օդի մասնիկների չափի և քանակի հետ: Օդի հոսքի լավ կազմակերպումը կարող է մաքուր սենյակից հեռացնել փոշու աղբյուրներից առաջացած մասնիկները և ապահովել մաքուր սենյակի մաքրությունը: Այսինքն, մաքուր սենյակում օդի հոսքի կազմակերպումը կենսական դեր է խաղում չիպերի արտադրության մեջ: Մաքուր սենյակում օդի հոսքի կազմակերպման նախագծման նպատակներն են. նվազեցնել կամ վերացնել պտտվող հոսանքները հոսքի դաշտում՝ վնասակար մասնիկների պահպանումից խուսափելու համար. պահպանել համապատասխան դրական ճնշման գրադիենտ՝ խաչաձեւ աղտոտումը կանխելու համար:
Մաքուր սենյակի սկզբունքի համաձայն՝ մասնիկների վրա ազդող ուժերը ներառում են զանգվածային ուժ, մոլեկուլային ուժ, մասնիկների միջև ձգողություն, օդի հոսքի ուժ և այլն։
Օդի հոսքի ուժ. վերաբերում է օդի հոսքի ուժին, որն առաջանում է մատակարարման և վերադարձի օդի հոսքի, ջերմային կոնվեկցիոն օդի հոսքի, արհեստական հուզման և մասնիկներ տեղափոխելու որոշակի հոսքի արագությամբ այլ օդային հոսքերի հետևանքով: Մաքուր սենյակի շրջակա միջավայրի տեխնոլոգիայի վերահսկման համար օդի հոսքի ուժը ամենակարևոր գործոնն է:
Փորձերը ցույց են տվել, որ օդային հոսքի շարժման ժամանակ մասնիկները հետևում են օդի հոսքին գրեթե նույն արագությամբ: Օդի մեջ մասնիկների վիճակը որոշվում է օդի հոսքի բաշխմամբ: Ներքին մասնիկների վրա օդի հոսքի հիմնական ազդեցությունները ներառում են. Օդի մատակարարման տարբեր եղանակներ, արագության միջերեսներ, օպերատորներ և արդյունաբերական սարքավորումներ, ինդուկտիվ երևույթներ և այլն մաքուր սենյակներում բոլոր գործոններն են, որոնք ազդում են մաքրության մակարդակի վրա:
1. Օդի մատակարարման մեթոդի ազդեցությունը
(1) Օդի մատակարարման արագություն
Օդի միասնական հոսք ապահովելու համար միակողմանի հոսքի մաքուր սենյակում օդի մատակարարման արագությունը պետք է լինի միատեսակ. օդի մատակարարման մակերեսի մեռած գոտին պետք է փոքր լինի. և հեպա ֆիլտրում ճնշման անկումը նույնպես պետք է լինի միատեսակ:
Օդի մատակարարման արագությունը միատեսակ է, այսինքն՝ օդի հոսքի անհավասարությունը վերահսկվում է ±20%-ի սահմաններում:
Օդի մատակարարման մակերեսի վրա ավելի քիչ մեռած տարածություն կա. ոչ միայն պետք է կրճատվի հեպա շրջանակի հարթության մակերեսը, այլ ավելի կարևոր է, որ մոդուլային FFU-ն պետք է օգտագործվի ավելորդ շրջանակը պարզեցնելու համար:
Որպեսզի ապահովվի, որ օդի հոսքը ուղղահայաց և միակողմանի է, ֆիլտրի ճնշման անկման ընտրությունը նույնպես շատ կարևոր է, և պահանջվում է, որ ֆիլտրի ներսում ճնշման կորուստը չի կարող կողմնակալ լինել:
(2) Համեմատություն FFU համակարգի և առանցքային հոսքի օդափոխիչի համակարգի միջև
FFU-ն օդի մատակարարման միավոր է օդափոխիչով և հեպա ֆիլտրով: Օդը ներծծվում է FFU-ի կենտրոնախույս օդափոխիչով և դինամիկ ճնշումը փոխակերպում է ստատիկ ճնշման օդային խողովակում: Այն հավասարապես դուրս է մղվում հեպա ֆիլտրով: Առաստաղի վրա օդի մատակարարման ճնշումը բացասական ճնշում է: Այս կերպ ֆիլտրը փոխարինելիս փոշին չի արտահոսի մաքուր սենյակ: Փորձերը ցույց են տվել, որ FFU համակարգը գերազանցում է առանցքային հոսքի օդափոխիչի համակարգին օդի ելքի միատեսակության, օդի հոսքի զուգահեռության և օդափոխության արդյունավետության ինդեքսի առումով: Դա պայմանավորված է նրանով, որ FFU համակարգի օդային հոսքի զուգահեռությունը ավելի լավն է: FFU համակարգի օգտագործումը կարող է բարելավել օդի հոսքի կազմակերպումը մաքուր սենյակում:
(3) ՀՖՖ-ի սեփական կառուցվածքի ազդեցությունը
FFU-ն հիմնականում բաղկացած է օդափոխիչներից, ֆիլտրերից, օդի հոսքի ուղեցույցներից և այլ բաղադրիչներից: Հեպա ֆիլտրը մաքուր սենյակի համար ամենակարևոր երաշխիքն է՝ դիզայնով պահանջվող պահանջվող մաքրությանը հասնելու համար: Ֆիլտրի նյութը նույնպես կազդի հոսքի դաշտի միատեսակության վրա: Երբ ֆիլտրի կոպիտ նյութը կամ հոսքի թիթեղը ավելացվում է ֆիլտրի ելքին, ելքի հոսքի դաշտը հեշտությամբ կարելի է միատեսակ դարձնել:
2. Արագության ինտերֆեյսի ազդեցությունը տարբեր մաքրությամբ
Միևնույն մաքուր սենյակում, ուղղահայաց միակողմանի հոսքով աշխատանքային տարածքի և ոչ աշխատանքային տարածքի միջև, օդի արագության տարբերության պատճառով, օդի արագության տարբերության պատճառով, օդի արագության տարբերության պատճառով միջերեսում տեղի կունենա խառը հորձանուտի էֆեկտ, և այս միջերեսը կդառնա տուրբուլենտ: օդի հոսքի գոտի. Օդի տուրբուլենտության ինտենսիվությունը հատկապես ուժեղ է, և մասնիկները կարող են փոխանցվել սարքավորման մեքենայի մակերեսին և աղտոտել սարքավորումներն ու վաֆլիները:
3. Ազդեցությունը անձնակազմի և սարքավորումների վրա
Երբ մաքուր սենյակը դատարկ է, սենյակում օդի հոսքի բնութագրերը հիմնականում համապատասխանում են նախագծման պահանջներին: Երբ սարքավորումները մտնում են մաքուր սենյակ, մարդիկ շարժվում են, և ապրանքները տեղափոխվում են, օդի հոսքի կազմակերպման համար անխուսափելիորեն խոչընդոտներ են առաջանում, ինչպիսիք են սարքավորումների մեքենայից դուրս ցցված սուր կետերը: Անկյուններում կամ ծայրերում գազը կշեղվի՝ ձևավորելով տուրբուլենտ հոսքի տարածք, և այդ հատվածի հեղուկը հեշտությամբ չի տարվի մուտքային գազով, այդպիսով առաջացնելով աղտոտում:
Միևնույն ժամանակ, մեխանիկական սարքավորումների մակերեսը կջեռուցվի շարունակական աշխատանքի շնորհիվ, և ջերմաստիճանի գրադիենտը կառաջացնի վերահոսքի տարածք մեքենայի մոտ, ինչը մեծացնում է մասնիկների կուտակումը վերամշակման տարածքում: Միաժամանակ բարձր ջերմաստիճանը հեշտությամբ կհանգեցնի մասնիկների փախուստին։ Երկակի էֆեկտը ուժեղացնում է ընդհանուր ուղղահայաց շերտը: Հոսքի մաքրությունը վերահսկելու դժվարությունը: Մաքուր սենյակում գտնվող օպերատորների փոշին հեշտությամբ կարող է կպչել վաֆլիներին այս վերամշակման տարածքներում:
4. Հետադարձ օդային հատակի ազդեցությունը
Երբ հատակով անցնող հետադարձ օդի դիմադրությունը տարբեր է, ճնշման տարբերությունը տեղի կունենա, որի պատճառով օդը հոսում է փոքր դիմադրության ուղղությամբ, և օդի միատեսակ հոսք չի ստացվի: Ներկայիս հայտնի դիզայնի մեթոդը բարձր հատակի օգտագործումն է: Երբ բարձր հատակի բացման հարաբերակցությունը 10% է, օդի հոսքի արագությունը կարող է հավասարաչափ բաշխվել ներքին աշխատանքային բարձրության վրա: Բացի այդ, պետք է խիստ ուշադրություն դարձնել մաքրման աշխատանքներին՝ հատակին աղտոտման աղբյուրը նվազեցնելու համար:
5. Ինդուկցիոն երեւույթ
Այսպես կոչված ինդուկցիոն երևույթը վերաբերում է օդի հոսքի առաջացման երևույթին միատեսակ հոսքին հակառակ ուղղությամբ՝ առաջացնելով սենյակում առաջացած փոշին կամ հարակից աղտոտված տարածքների փոշին դեպի քամու կողմը, դրանով իսկ պատճառելով, որ փոշին աղտոտում է վաֆլի: Հնարավոր առաջացած երևույթները ներառում են հետևյալը.
(1) Կույր ափսե
Ուղղահայաց միակողմանի հոսքով մաքուր սենյակում, պատի հոդերի պատճառով, սովորաբար մեծ կույր վահանակներ կան, որոնք կառաջացնեն տուրբուլենտ հոսք և տեղային հակահոսք:
(2) Լամպեր
Մաքուր սենյակում լուսավորող սարքերը ավելի մեծ ազդեցություն կունենան: Քանի որ լյումինեսցենտային լամպի ջերմությունը հանգեցնում է օդի հոսքի բարձրացմանը, լյումինեսցենտային լամպը չի դառնա տուրբուլենտ տարածք: Ընդհանուր առմամբ, մաքուր սենյակի լամպերը նախագծված են արցունքի տեսքով, որպեսզի նվազեցնեն լամպերի ազդեցությունը օդի հոսքի կազմակերպման վրա:
(3) պատերի միջև բացեր
Երբ մաքրության տարբեր պահանջներ ունեցող միջնապատերի կամ առաստաղների միջև բացեր կան, մաքրության ցածր պահանջներ ունեցող տարածքներից փոշին կարող է տեղափոխվել հարակից տարածքներ, որոնք ունեն մաքրության բարձր պահանջներ:
(4) մեխանիկական սարքավորումների և հատակի կամ պատի միջև հեռավորությունը
Եթե մեխանիկական սարքավորումների և հատակի կամ պատի միջև բացը փոքր է, ապա կառաջանա հետադարձ տուրբուլենտություն: Հետևաբար, սարքավորման և պատի միջև բաց թողեք և բարձրացրեք մեքենայի հարթակը, որպեսզի խուսափեք գետնի հետ անմիջական շփումից:
Հրապարակման ժամանակը՝ նոյ-02-2023